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掃描電鏡等離子清洗機

簡要描述：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，掃描電鏡等離子清洗機主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內碳氫化合物的清洗。

  • 產品型號：CIF-SEM
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2024-08-28
  • 訪  問  量：6715

詳細介紹

品牌CIF產地類別國產
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產業(yè),地礦,能源

產品特點

◆  遠程離子清洗源

◆  掃描電鏡等離子清洗機清洗快速、高效

◆  低轟擊損傷

掃描電鏡等離子清洗機技術參數

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40（CF40）

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調

遠程等離子源，自動匹配器

氣體控制

標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面

電源 / 功率

AC220V，50/60Hz，300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，   氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM

質量保證

二年質保，終身維護

產品尺寸

L320xW385xH465mm

包裝尺寸

L440xW535xH725mm

整機重量

25


 

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